Kā sausā ledus spridzināšana pārveido pusvadītāju ražošanu

Straujajā{0}}pusvadītāju ražošanas pasaulē tīrība ir viss. Pat viena daļiņa, kas ir mazāka par 1 mikronu-daudz mazāka par putekļu graudiņu-, var izraisīt mikroshēmas atteici, izraisot dārgus defektus un produktu noņemšanu metāllūžņos. Tā kā mikroshēmu funkcijas sarūk līdz nanomēroga līmenim, pieprasījums pēc īpaši-tīras ražošanas vides nekad nav bijis lielāks.

Tradicionālās pusvadītāju tīrīšanas metodes, piemēram, mitrā ķīmiskā tīrīšana, ultraskaņas vannas vai plazmas kodināšana, ir noderējušas nozarei, taču tās arvien vairāk atpaliek. Šīs pieejas bieži ir saistītas ar stiprām ķīmiskām vielām, rada sekundārus atkritumus, prasa ilgstošu iekārtu dzesēšanu un var sabojāt trauslās sastāvdaļas,{1}}tas viss nozīmē ilgāku dīkstāvi, augstākas izmaksas un vides problēmas.

Šeit sausā ledus spridzināšana parādās kā -mainīgs risinājums. Šī novatoriskā, ne-abrazīvā tīrīšanas tehnoloģija ātri kļūst par iecienītāko metodi precīzijas iekārtu uzturēšanai pusvadītāju ražošanā. Šajā rakstā mēs izpētīsim, kā sausā ledus strūkla nodrošina tīrīšanu bez atliekām-, uzlabo ražošanas efektivitāti un palīdz ražotājiem sasniegt stingrus kvalitātes un ilgtspējības mērķus.

Kas ir sausā ledus spridzināšana?

Sausā ledus spridzināšana(pazīstams arī kāCO₂ spridzināšana) ir vienkāršs, bet jaudīgs tīrīšanas process. Tajā tiek izmantotas cietas CO₂ daļiņas-sausā ledus granulas, kas atdzesētas līdz -78 grādiem, kas tiek dzītas lielā ātrumā, izmantojot saspiestu gaisu.

Pēc trieciena sausā ledus daļiņas sublimējas uzreiz, pārvēršoties tieši no cietas par gāzi. Šī straujā izplešanās noņem piesārņotājus no virsmas, izmantojot kinētiskās enerģijas un termiskā trieciena kombināciju, neatstājot nekādus atlikumus.

Galvenās sausā ledus tīrīšanas priekšrocības ir:

• Ne{0}}abrazīvs: saudzīgs pret delikātām virsmām, novēršot skrāpējumus vai kodināšanu.
• Bez atlikumiem-: nav sekundāro atkritumu, jo sausais ledus vienkārši izzūd gāzē.
• Nesatur ķīmiskas vielas: novērš nepieciešamību pēc šķīdinātājiem vai skarbiem līdzekļiem.
• Videi draudzīgs: izmanto pārstrādātu CO₂ un nerada papildu atkritumu plūsmas.

Šeit ir ātrs salīdzinājums ar parastajām tradicionālajām metodēm, ko izmanto pusvadītāju tīrīšanā:

Kā redzat, sausā ledus spridzināšana izceļas ar tīru, efektīvu profilu-, kas padara to ideāli piemērotu pusvadītāju ražošanas precizitātes prasībām.

Sausā ledus spridzināšanas pielietojumi pusvadītāju ražošanā

Sausā ledus spridzināšana ir daudzpusīga, un tā ir izcila daudzās kritiskās pusvadītāju ražošanas jomās, kur pat neliels piesārņojums var sabojāt ražu. Šeit ir dažas galvenās lietojumprogrammas:

• Fotorezista noņemšana no plāksnītēm: maigi noņem organiskos atlikumus un vieglus fotorezista slāņus, nesabojājot trauslās vafeļu virsmas.
• Veidņu un armatūras tīrīšana: noņem vaska uzkrāšanos, gāzes atlikumus un piesārņotājus no iesmidzināšanas veidnēm un instrumentiem, ko izmanto skaidu iepakošanai.
• Nogulsnēšana un gāzu atlikumu noņemšana: notīra uzkrātos materiālus no procesa instrumentiem, neievadot mitrumu vai daļiņas.
• Vakuuma kameras, nogulsnēšanas telpas un kodināšanas iekārtu tīrīšana: dziļi{0}}attīra jutīgas telpas, tostarp CVD reaktorus un pulēšanas rīkus, vienlaikus saglabājot precīzas ģeometrijas.
• Vafeļu apstrādes sistēmas un konveijera apkope: nodrošina, ka robotu rokas, pārvietošanas lentes un citas kustīgās daļas tiek atbrīvotas no putekļiem un gružiem.

Šie precīzās tīrīšanas uzdevumi lielā mērā gūst labumu no sausā ledus nevadošā un sausā rakstura, ļaujot veikt tīrīšanu tīrās telpās, neriskējot ar elektrostatisko izlādi vai mitruma{1}}problēmām.

Kā sausā ledus spridzināšana pārveido pusvadītāju ražošanu

Sausā ledus spridzināšanas patiesais spēks slēpjas tās spējā novērst nozares lielākos sāpju punktus. Lūk, kā tas veicina nozīmīgas pārmaiņas:

Ievērojami samazina iekārtu dīkstāves laiku

Tradicionālajai tīrīšanai bieži ir nepieciešams dzesēšanas aprīkojums, demontāža un pagarināts žāvēšanas laiks. Sausā ledus strūklu bieži var veikt uz vietas-un tiešsaistē, tādējādi samazinot tīrīšanas ciklus no stundām līdz minūtēm un samazinot ražošanas pārtraukumus.

Uzlabo šķeldas ienesīgumu un ražošanas efektivitāti

Rūpīgāk un konsekventāk noņemot piesārņotājus, sausā ledus tīrīšana palīdz samazināt defektus un pārstrādāt. Ražotāji ziņo par lielāku caurlaidspēju un labāku kopējo iekārtu efektivitāti.

Nodrošina patiešām ne{0}}abrazīvu tīrīšanu jutīgām sastāvdaļām

Smalkās vafeles, fotomaskas un instrumenti paliek nesabojāti, saglabājot stingras pielaides, kas ir būtiskas progresīviem mezgliem (piemēram, 3 nm un zemāki).

Atbilst stingriem vides noteikumiem un ESG mērķiem

Bez ķimikālijām, notekūdeņiem un sekundāriem atkritumiem, sausā ledus spridzināšana atbalsta videi draudzīgu tīrīšanu-, kas atbilst pieaugošajām ilgtspējības prasībām pusvadītāju ražošanā.

Salīdzinot ar tradicionālajām metodēm, tiek panākts ievērojams izmaksu ietaupījums

Zemākas darbaspēka vajadzības, samazinātas izmaksas par atkritumu izvešanu, mazāks aprīkojuma nolietojums un īsāks dīkstāves laiks veicina iespaidīgu sausā ledus spridzināšanas izmaksu ietaupījumu.

Reālajā{0}}pasaulē telpu tīrīšanas laiks ir samazinājies līdz pat 70%, attiecīgi palielinot ražu un darbības efektivitāti.

Reālās pasaules-gadījumu izpēte un dati

Sausā ledus spridzināšanas priekšrocības pusvadītāju ražošanā ir ne tikai teorētiskas,{0}}pasaulē vadošās iekārtas jau gūst iespaidīgus rezultātus.

• 1. gadījums: lielākā vafeļu ražošanas rūpnīca

Pasaulē vadošā lietuve pārgāja uz sausā ledus tīrīšanu savās nogulsnēšanas kamerās un instrumentos. Iekārtu tīrīšanas laiks krasi samazinājās-no aptuveni 8 stundām, izmantojot tradicionālās metodes, līdz tikai 2 stundām. Tā rezultātā par 70% tika samazināts dīkstāves laiks, nodrošinot vairāk ražošanas ciklu un ievērojami lielāku jaudu.

• 2. gadījums: fotorezists un atlikumu noņemšana

Citā objektā, kurā galvenā uzmanība tika pievērsta uzlabotiem mezgliem, sausā ledus strūkla uzlaboja fotorezista noņemšanas efektivitāti līdz pat 3 reizēm, salīdzinot ar slapjiem ķīmiskajiem procesiem. Defektu līmenis ievērojami samazinājās, veicinot labāku kopējo mikroshēmu kvalitāti un mazāk noraidīto vafeļu.

Nozares atsauksmes un ziņojumi apstiprina šos ieguvumus: daudzas pusvadītāju darbības, izmantojot sausā ledus strūklu, liecina par ražas uzlabojumiem par 15-25%, tīrīšanas izmaksu samazināšanos par 30-50% un ātrāku atgriešanos pie ražošanas, pateicoties tīrīšanai uz vietas. Šie reālie rezultāti izceļ šīs tehnoloģijas uzticamo, izmērāmo ietekmi uz efektivitāti un rentabilitāti.

Kāpēc sausā ledus spridzināšana aizstāj tradicionālās metodes?

Pusvadītāju procesiem virzoties uz smalkākām funkcijām,{0}}piemēram, 3 nm un 2 nm mezgliem-, piesārņojuma tolerance samazinās līdz gandrīz nekādam. Tradicionālām tīrīšanas metodēm ir grūti sekot līdzi, savukārt sausā ledus strūkla kļūst par vēlamo precizitātes un ilgtspējības standartu.

Šeit ir vienkāršs salīdzinājums:

Sausā ledus strūkla uzvar, jo tā nodrošina rūpīgu tīrīšanu bez vecāku metožu trūkumiem. Tas ļauj izvairīties no sekundāriem atkritumiem, likvidēt skarbās ķimikālijas un aizsargāt trauslo aprīkojumu-, kas ir lieliski piemērots pusvadītāju tīrīšanas tehnoloģiju tendencēm, kas prasa augstāku tīrību, mazāku ietekmi uz vidi un minimālus ražošanas pārtraukumus.

Kā izvēlēties pareizo sausā ledus spridzināšanas iekārtu pusvadītāju ražošanai

Labākā pusvadītāju sausā ledus tīrīšanas aprīkojuma izvēle ir atkarīga no iekārtas pielāgošanas jūsu īpašajām vajadzībām augstas-precizitātes vidē.

Galvenie faktori, kas jāņem vērā:

• Spiediena kontroles precizitāte: zemi un regulējami iestatījumi (līdz ļoti maigam līmenim), lai droši notīrītu jutīgas vafeles, maskas un kameras bez jebkāda bojājumu riska.
• Daļiņu izmēra regulēšana: sistēmas, kas ļauj mainīt sausā ledus daļiņu izmēru visam, sākot no vieglas virsmas putekļošanas līdz dziļākai piesārņotāju noņemšanai.
• Saderība ar tīrām telpām: HEPA filtrēšana, -nevadoši materiāli un konstrukcijas, kas novērš daļiņu iekļūšanu.
• Automatizācijas līmenis: opcijas robotizētai integrācijai vai rokas ierīcēm atkarībā no tā, vai veicat tīrīšanu-rindā vai apkopes laikā.

Lielākajai daļai pusvadītāju lietojumu ideāls ir precīzs zema spiediena{0}}sausā ledus pūtējs. Šīs iekārtas piedāvā precīzi-noregulētu vadību, uzticamu veiktspēju tīrās telpās un efektīvu sausā ledus izmantošanu-, palīdzot uzturēt stingras pielaides, vienlaikus nodrošinot nevainojamu darbību.

Vai meklējat uzticamu sausā ledus spridzināšanas iekārtu ražotāju?

YJCO2 ir Ķīnas vadošais sausā ledus spridzināšanas iekārtu ražotājs, kuram uzticas vairāk nekā 3000 klientu visā pasaulē,{3}}tostarp vairāk nekā 70 uzņēmumi Ķīnā. Kā apstiprināts Foxconn piegādātājs un vienīgais sausā ledus tīrīšanas zīmols, kas izvēlēts China Aerospace elektroniskajam lielveikalam, YJCO2 ir atzīts par savu pierādīto uzticamību augsto tehnoloģiju vidē.

YJ-09 rūpnieciskā sausā ledus tīrīšanas mašīna - Ideāli piemērots pusvadītāju tīrīšanai:

• Kompakts dizains (75×56×95 cm, 80 kg) ar riteņiem ērtai pārvietošanai šaurās tīrās telpās.
• Jaudīgs 500 W importēts motors, kas dubulto ledus izvades ātrumu un spiedienu salīdzinājumā ar standarta modeļiem.
• Pielāgota zemas-temperatūras-izturīga 38 mm šļūtene un pilnībā-alumīnija plakanais-mutes sprausla konsekventai, liela{5}}apjoma sausā ledus piegādei.
• Elastīgas vadības iespējas: pedāļa, manuāla, tālvadības vai IO integrācija.
• Plaša sprieguma savietojamība (110-240V) globālai lietošanai.

Sazinieties ar mums tagad, lai saņemtu konkurētspējīgu piedāvājumu!

Secinājums

Sausā ledus spridzināšana būtiski maina to, kā pusvadītāju ražošanā tiek veikta tīrīšana. Tas nodrošina ātrāku, drošāku un bez atliekām{1}}apkopes veidu, kā uzturēt aprīkojumu, palielinot ražu, samazinot dīkstāves laiku un ievērojot stingrus vides standartus-, vienlaikus aizsargājot trauslās sastāvdaļas.

Ja vēlaties uzlabot efektivitāti, samazināt izmaksas un nodrošināt augstāku produktu kvalitāti savā ražošanas līnijā, šis varētu būt pusvadītāju sausā ledus tīrīšanas risinājums, ko esat meklējis.

Vai vēlaties uzzināt, vai sausā ledus spridzināšana atbilst jūsu iestatījumiem? Sazinieties ar mums, lai -uz vietas veiktu bezmaksas novērtējumu vai aprīkojuma demonstrāciju-, mēs esam šeit, lai palīdzētu jums izpētīt iespējas.